触針式段差測定装置P-40を発表

触針式段差測定装置「FPシリーズ」の新ラインアップとして「P-40」を開発し販売を開始します。 従来、液晶用に展開していた技術を半導体ウェーハ向けに応用したもので、300ミリ半導体ウェーハ市場での需要を見込んでいます。ウェーハ上の微細パターンをサブミクロンサイズの触針でトレースし、その段差、形状、粗さなどを測定します。 国内外のメーカー向けに販売し、この分野でのトップシェアを目指します。