FPD用3次元計測装置の製造販売権を取得

大手検査装置メーカー、ザイゴ社(ZYGO Corp. 本社:米国コネチカット州)から、液晶・有機ELなどのフラットパネル用3次元計測装置の全世界向け独占製造販売権を取得しました。 この装置は、表面形状測定分野において世界シェアトップの製品であり、光干渉技術を応用したザイゴ社独自のセンサーを用いて3次元的に微細な表面形状を測定するものです。液晶・カラーフィルタ、有機EL、LCOS(シリコン基板上に液晶を形成したもの)などのフラットパネルディスプレイの製造プロセスならびに研究開発分野において、品質改善、生産性向上を可能としています。