| セル工程：単板分断面取り後洗浄 |
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| モジュール工程： |
分断面取り後の洗浄、 |
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偏向板貼り付け前の洗浄 |
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パネル基板サイズ川幅950mm×長さ1550mmまで対応 |
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各種パネルサイズの標準装置を選択可能 |
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パネルのサイズにより自動段取り変え機構を標準装備 |
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各洗浄ツール(シート研磨, ディスクブラシ, ロールブラシ)を選択可能 |
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面取り後洗浄の後に再配向オーブンをセットで提案 |
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二次汚染を考慮した搬送機構及びエアーナイフ |
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高スループットに対応したシステム設計 |
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純水、エアー使用量の抑制によりランニングコストを削減 |
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分断後、面取り後洗浄装置
偏向板貼付前洗浄装置についての問合せ先
クリーンシステム事業
製造装置営業
TEL ０５８７−２４−１２１０
FAX ０５８７−２４−１２２４ |
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