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半導体・液晶製造検査
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カセット洗浄装置

カセット洗浄装置


用途

アレイ工程、セル工程、カラーフィルター工程用ガラス基板搬送用カセットの洗浄装置

特徴

G10用ガラス基板搬送用カセットまで対応
処理ブース内のコンベアーを回転させる事により省スペース化を実現
高圧シャワーノズルをスイングし、優れた洗浄能力を発揮
二次汚染を考慮した搬送機構及びカセット乾燥ユニット


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クリーンシステム事業
製造装置営業
TEL 0587−24−1210
FAX 0587−24−1224

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