| アレイ工程：受け入れ洗浄、成膜前後の洗浄 |
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| セル工程：PI前洗浄、ラビング後の洗浄 |
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| カラーフィルター工程： |
受け入れ洗浄、 |
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レジスト塗布前洗浄 |
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ガラス基板サイズG10用 川幅2850mm×長さ3050mmまで対応 |
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高機能洗浄ツールにより優れた洗浄性能を実現 |
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二次汚染を考慮した搬送機構及びエアーナイフ |
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高スループットに対応したシステム設計 |
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純水、エアー使用量の抑制によりランニングコストを削減 |
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洗浄装置についての問合せ先
クリーンシステム事業
製造装置営業
TEL ０５８７−２４−１２１０
FAX ０５８７−２４−１２２４ |
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