| アレイ工程：アルミ |
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| ITO(透明電極)用のエッチング |
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ガラス基板サイズG10用 川幅2850mm×長さ3050mmまで対応 |
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各種エッチング液に対応可能 |
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安全性、液漏れ、ガス漏れを考慮 |
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エッチング均一性を考慮したプロセス設計 |
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二次汚染を考慮した搬送機構及びエアーナイフ |
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高スループットに対応したシステム設計 |
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薬液、純水、エアー使用量の抑制によりランニングコストを削減 |
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エッチング装置についての問合せ先
クリーンシステム事業
製造装置営業
TEL ０５８７−２４−１２１０
FAX ０５８７−２４−１２２４ |
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