| アレイ工程 |
：(ポジ・ネガ)レジスト用の現像 |
| カラーフィルター工程 |
：BM(ブラックマトリクス)用の現像 |
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カラーレジスト(R,G,B)用の現像 |
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ガラス基板サイズG10用 川幅2850mm×長さ3050mmまで対応 |
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現像均一性を考慮したプロセス設計 |
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各種調合装置をオプション設定 |
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優れた温度コントロール性能(設定温度±0.5℃) |
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二次汚染を考慮した搬送機構及びエアーナイフ |
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高スループットに対応したシステム設計 |
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薬液、純水、エアー使用量の抑制によりランニングコストを削減 |
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現像装置についての問合せ先
クリーンシステム事業
製造装置営業
TEL ０５８７−２４−１２１０
FAX ０５８７−２４−１２２４ |
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