| アレイ工程：各種レジストの剥離 |
 |
| カラーフィルター工程：BM(ブラックマトリクス)用レジストの剥離 |
|
| セル工程：PI膜(配向膜)の剥離 |
|
|
 |
ガラス基板サイズG10用 川幅2850mm×長さ3050mmまで対応 |
|
各種剥離液に対応可能 |
|
安全性、液漏れを考慮 |
|
ドライエッチング後のレジスト剥離時間を考慮したプロセス設計 |
|
二次汚染を考慮した搬送機構及びエアーナイフ |
|
高スループットに対応したシステム設計 |
|
薬液、純水、エアー使用量の抑制によりランニングコストを削減 |
|
|
剥離装置についての問合せ先
クリーンシステム事業
製造装置営業
TEL ０５８７−２４−１２１０
FAX ０５８７−２４−１２２４ |
|
