近年、ＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）はその薄型・軽量という特徴を活かして、パソコン、携帯電話、テレビなど皆様の身近なところにもますます用途を拡大しています。
そのようなニーズに伴ってＦＰＤの技術は激しく変化しており、製造工程は、より大型で複雑なものとなっています。
弊社は、その変化の激しいＦＰＤ市場において確かな技術力で、製造プロセス装置や検査装置をご提供してまいりました。
特に、マスクスピンクリーナー、カセット洗浄機に関しては、世界中のお客様より高い評価をいただいております。
これからも、お客様のニーズを的確に捉えた製品をご提供していきます。
|
|
ガラス基板サイズG10用
川幅2850mm×長さ3050mmまで対応。 |
|
|
|
ロボット搬送タイプ、ガントリー搬送タイプの2種類を選択可能。 |
|
|
処理ブース内のコンベアーを回転させる事により省スペース化を実現。 G10用ガラス基板搬送用カセットまで対応。
|
|
|
|
パネルのサイズにより自動段取り変え機構を標準装備。 各洗浄ツール(シート研磨, ディスクブラシ,
ロールブラシ)を選択可能。 |
|
|
エッチング均一性を考慮したプロセス設計。 二次汚染を考慮した搬送機構及びエアーナイフを標準装備。
|
|
|
|
ガラス基板サイズG10用 川幅2850mm×長さ3050mmまで対応。 ドライエッチング後のレジスト剥離時間を考慮したプロセス設計。
|
|
|
現像均一性を考慮したプロセス設計。 優れた温度コントロール性能(設定温度±0.5℃)。 |
|
|
フラットパネル用製造装置についての問合せ先
クリーンシステム事業
製造装置営業
TEL ０５８７−２４−１２１０
FAX ０５８７−２４−１２２４ |
|
