マスクスピン洗浄装置｜東朋テクノロジー株式会社

カラーフィルター工程：露光用マスクの洗浄

	マスクサイズ川幅1600mm×長さ1800mmまで対応
	ロボット搬送タイプ、ガントリー搬送タイプの2種類を選択可能
	各種調合装置をオプション設定
	マスクへのダメージを考慮した万全な安全対策
	高スループットに対応したシステム設計
	薬液、純水、エアー使用量の抑制によりランニングコストを削減

マスクスピン洗浄装置についての問合せ先
クリーンシステム事業
製造装置営業
TEL　０５８７－２４－１２１０
FAX　０５８７－２４－１２２４