針圧0.5mgから設定可能な超低針圧触針測定ヘッド（マイクロヘッドII※1）を搭載し、その安定した段差測定(膜厚測定)で液晶基板用の触針式段差測定装置(膜厚測定装置)としては世界シェアNO.1の実績を持っています。
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液晶基板の大型化に合わせて開発された段差測定装置(膜厚測定装置)FPXタイプでは段差測定(膜厚測定)に影響を及ぼす振動への対策を強化し、基板全面で安定したデータが得られるよう構造変更を行っております。現在このXタイプでは基板サイズ最大3200mmまで対応しております。
さらにこれまでの段差測定装置(膜厚測定装置)FPシリーズの中で最も小さいタイプ（FP-20）よりもさらに小型化したFP-10をリリースし、ELやTN／STNなどの小型基板の段差測定(膜厚測定)に対し、低コスト・省スペースで基板全面の段差測定(膜厚測定)が可能になりました。 |
| ※1 |
検査装置業界最大手のKLA-Tencor(USA)が開発した触針式段差測定(膜厚測定)ヘッドで、その信頼性は他を圧倒する。
KLA-Tencorと東朋テクノロジーは技術、製造、販売でパートナーシップを結んでいる。 |
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段差測定装置FP Aタイプ |
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サンプル基盤サイズ ： 300mm - 880mm |
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段差測定装置FP Xタイプ |
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サンプル基盤サイズ ： 920mm - 3200mm |
| 走査スピード |
最大25mm/sec. |
| サンプリングレート |
最大200points/sec. |
| 針圧 |
0.5mg - 15mg |
| 位置決め精度 |
±2μm |
| 測定再現性 |
10A |
| 除振装置 |
装着 |
| オプション |
SECS/GEMインターフェイス・オフラインソフトウェア・パターン認識機能・色認識機能・その他 |
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| ■グラフィカルなデザイン |
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■一覧から簡単測定レシピ作成 |
| 様々なサンプル基板の段差測定(膜厚測定)に対応した各種スタイラス（触針）、校正用スタンダードをご用意しています。東朋テクノロジーでは中国大陸、台湾地域、韓国でもサポート体制を確立しておりますので段差測定装置(膜厚測定装置)、その他検査装置のことは何なりと弊社までご相談ください。 |
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段差測定装置 FPについての問合せ先
クリーンシステム事業
検査装置営業
TEL ０５８７−２４−１２１０
FAX ０５８７−２４−１２２４ |
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