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FPD３次元計測装置FPMシリーズは、年々大型化するフラットパネルディスプレイの表面形状を測定するために、ザイゴ社が持つ最先端の技術を駆使して開発されました。その多彩な測定能力はLCD(液晶ディスプレイ)、PDP(プラズマディスプレイ)、CF(カラーフィルター)、PS(フォトスペーサー)、OLED(有機発光ダイオード)、LCOS(Liquid crystal on silicon)、MEMS(Micro Electro-Mechanical Systems)等の表面形状の測定に最適です。弊社は、フラットパネルディスプレイの製造プロセスならびに研究開発分野における品質改善と生産性向上を実現するため、このFPD３次元計測装置FPMシリーズの全世界向け独占製造販売権を取得しました。 |
このFPD３次元計測装置FPMシリーズは、ザイゴ社が知的所有権を持つ白色干渉技術(SWLI)をベースに、ザイゴ社のメトロロジーヘッドを搭載し、さらに、フラットパネル検査用に特別な開発が行われています。
高速且つ、高精度で表面構造を観察することができるため、液晶パネルのCF基板とＴＦＴ基板の両基板において、CF工程やODF(One Drop-Fill)工程のプロセスパラメータ改善のために使用されています。
液晶基板はCF基板とTFT基板の２枚のガラスで構成されますが、それらの間隔を保つためのスペーサや、MVA方式で使用されている特殊な構造物(MVA: Multi-domain Vertical Alignment)、ＣＦ基板のRGBの高さの評価等に用いられます。 |
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| １． | 超精密、サブナノメータ精度計測のための、ザイゴ社が知的所有権を持つフーリエ領域解析(ＦＤＡ:Fourier Domain Analysis)を使用した走査型白色干渉(ＳＷＬＩ：Scanning white-light interferometry)技術。 |
| ２． | 最新のデジタルマシンビジョン技術を使用した、高速データ取得/解析。結果としてセンサヘッドの数を減少させることができ、システムの稼動時間を改善することになります。 |
| ３． | ザイゴ社の特許技術である、透明膜の表面形状や厚みを測定する膜解析ソフトウェア（FilmSlice™ / TopSlice™）。 |
表面感度を高めるため、コヒーレント長さの短い白色光源をSWLI法で使用しています。
試料と光学系との相対位置を変化させることにより、干渉縞の変化を確認できます。
この干渉縞のコントラストを詳細に観察することにより、表面形状の情報を取得しています。 |
ザイゴ社
（Zygo Corporation）
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本社：米国コネチカット州ミドルフィールド市
上場：ＮＡＳＤＡＱ
設立：１９７０年６月
総従業員数：約５６０名
ＵＲＬ：http://www.zygo.com/
精密製品の研究・開発・製造を行っている企業や研究所向けに、超精密非接触測定システムの研究、開発及び製造を行っています。 |
| 東朋テクノロジーでは中国大陸、台湾地域、韓国でもサポート体制を確立しておりますので、FPD３次元計測装置FPMシリーズ、その他検査装置のことは何なりと弊社までご相談ください。 |
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FPD３次元計測装置FPMシリーズについての問合せ先
クリーンシステム事業
検査装置営業
TEL ０５８７−２４−１２１０
FAX ０５８７−２４−１２２４ |
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