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当社がザイゴ社より全世界向け独占製造販売権を取得したＦＰＤ３次元計測装置です。最先端の技術を駆使して開発されたフラットパネル用非接触大型表面形状測定機です。
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670umと780umの2波長のレーザーから種々のサンプルに適切なものを自動的に選択し非接触・非破壊の薄膜応力測定をおこないます。
また-６５℃から500℃までの測定環境を作り出し測定が可能である。
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基板サイズ300mmから3200mmまで対応。超低針圧触針式マイクロヘッドにより基板を傷つけることなく確実な段差測定を実現します。
液晶用触針式段差計としては世界シェアナンバーワンの実績。
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半導体レーザーにより非破壊でウェーハ表面の様々な欠陥を解析する装置です。その用途は広く、Si、GaAs等のウェーハのコンタミ、傷、凹凸の解析から、SiC、GaNなど最近注目されている材料の結晶欠陥の解析までカバーします。
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ＦＰＤの生産ラインにおける、ガラス基板上に塗布又は成膜された薄膜の膜厚モニタリング用の測定装置です。
世界の主要液晶メーカー工場へ１００台を超える納入実績があります。 |
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ハードディスクドライブコンポーネントのCSS解析に適しており、ストレイン、AE、温度、湿度、気圧のデータ収集が行なえます。 |
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半導体・フラットパネル用検査装置についての問合せ先
クリーンシステム事業
検査装置営業
TEL ０５８７−２４−１２１０
FAX ０５８７−２４−１２２４ |
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