TOP　>　半導体・液晶製造検査装置 メカトロニクス部門は、ソニー（株）のブラウン管製造ラインにおける洗浄装置を中心とした製造装置を手掛けたところから始まりました。 当時、オゾン層破壊が世界的な環境問題となり、フロン、エタンを使用しない水系洗浄へのニーズが高まり、純水を利用した精密洗浄の技術を向上するきっかけとなりました。この技術を生かし、半導体ウェーハや液晶の製造プロセスにおける現像、エッチング、剥離などの製造装置を開発し、国内外の業界トップメーカーよりも高い評価をいただいております。 また、平成11年（1999年）末に、世界第1位の半導体検査装置メーカーである米国ＫＬＡテンコール社から、液晶検査装置（段差計ＦＰ２０）の技術導入を行い、製造装置に加え、新たに検査装置分野にも進出しました。 さらに、平成17年には、米国ナノメトリクス社より膜厚計、平成21年には、米国ザイゴ社より三次元形状測定装置の事業移管を受けるなど、自社にて開発する製品と合わせ、半導体・液晶・LED・太陽パネルに関する製造・検査装置分野においてトップシェア製品のラインナップ拡充に努めてまいりました。 詳細はこちら 国内外から高い評価をいただいている製造プロセス装置をご紹介します。 ・各種洗浄装置 ・エッチング装置 ・剥離装置 ・現像装置など 　 詳細はこちら 当社が誇る最先端の検査装置をご紹介します。 ・段差測定装置 FPシリーズ ・薄膜応力測定装置 FLX ・ウェーハ表面検査装置 　Candela CS ・FPD用自動膜厚測定装置 　NanoSpec ・環境試験装置付CSSテスタ 　VX7500/VX6500 ・FPD３次元計測装置 　FPMシリーズ 詳細はこちら NANOMETRICS社が誇る最先端の測定装置をご紹介します。 ・NanoSpec3000/6100 ▲ページトップへ 半導体・液晶製造検査装置についての問合せ先 クリーンシステム事業 製造装置営業 検査装置営業 TEL　０５８７−２４−１２１０ FAX　０５８７−２４−１２２４ (C) Copyright 2006 Toho Technology Corporation.All rights reserved.