オートフォーカス、オートステージ、オプションで300mm対応ステージ、UV領域、厚膜対応高分解能ヘッド、オートローダーなどの組み合わせが可能。対応ウェーハサイズ　3, 4, 5, 6, 8inch （＊12inchオプション）

・Vis可視光領域　UV領域光干渉膜厚測定
・厚膜オプション
・オートローダーオプション

マニュアルフォーカス、マニュアルステージで、簡便に膜厚測定が可能な3〜8inch対応、コストパフォーマンスに優れるマニュアル式膜厚測定装置。

・対応ウェーハサイズ　3, 4, 5, 6, 8inch
・Vis可視光領域
・厚膜オプション