セルギャップ測定装置 
AxoScan/AxoStep

商品概要

LCD工程のCell基板ギャップ等を測定するための装置で、AxoxcanとAxostepという2種類の測定方式を持っています。 これらの測定方式を用い、ミューラーマトリックスを用いたソフトウェア解析により、一回の測定で、セルギャップ、ラビング方向、ツイスト角度、プレチルト角を高速、同時に測定が可能です。 このAxometorics社の技術は特許を所得しております。

商品特徴

  AxoScanは最速/最強の偏光測定装置です。セル基板にキセノンランプ光をピンポイントで通過させ、その偏光状態を解析する事により測定を行っています。AxoScanに使用するヘッドはAxometrics社が独自で開発したもので、多種のパラメーターを同時測定でき、尚且つ高速/高精度である事が、最大の特徴です。 スポットサイズは3mmで、このスポット内の平均値を測定します。 AxoStepはAxoScanヘッドの代わりに、CCDカメラを用いた測定方式です。CCDカメラを用いる事により、エリアでの測定が可能となり、レンズの切り替えにより低倍率(8.6mm程度)から高倍率(0.043mm程度)までの対応が可能です。 測定パラメーターはAxoScanと同じですが、測定エリアが広い為、ピクセルごとの解析が可能です。

AxoScan

測定エリア 3mm(カスタマイズ可)
測定時間 約1~2.5秒/エリア
測定パラメーター セルギャップ、ラビング方向、プレチルト角度、ツイスト角
対応基板 G2~G8基板
測定再現性 セルギャップ/3σ=0.005μm、ラビング方向、プレチルト角度、ツイスト角/3σ=0.1°

AxoStep

測定エリア 8.6mm×6.9mm~0.043mm×0.034mm(対物レンズ交換にて)
測定時間 約15秒
測定パラメーター セルギャップ、ラビング方向、プレチルト角度(上下)、ツイスト角
対応基板 G2~G8基板
測定再現性 別途

商品外観、構成

この商品についてのお問い合わせはこちら ファインメカ事業部 TEL 0587-24-1210 インターネットでのお問い合わせはこちらから