FPD(フラットパネルディスプレイ)の生産ラインにおいて、ガラス基板上に塗布又は成膜された、薄膜の膜厚測定用として販売されているナノスペック6500シリーズは、ナノメトリクス社が長年培ってきた高い光学技術やノウハウと、解析ソフトウェア、高精度なステージ駆動などの技術が凝縮されており、世界の主要液晶メーカー工場へ100台を超える納入実績があります。 そのナノスペック6500シリーズの業務移管を受け、東朋テクノロジーが独自の技術でさらなる開発を行い、付加価値を高め、ナノスペック6500シリーズの製造・販売・サービスを行っております。
モデル | Nanospec6500シリーズ | >6500X-SE(エリプソ搭載機) |
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基板サイズ(mm) | 300mm – 3200mm | |
測定方式と分光ヘッド | 光干渉式反射率測定、リニアアレー素子 | |
測定波長範囲(nm) | 400nm-800nm | (SR)400nm-800nm (SE)380nm-1000nm |
膜厚測定範囲 | 10nm-20μm | (SR)10nm-20μm (SE)0nm-10μm |
多層膜測定 | 3層膜まで測定可能 | |
膜質評価 (n&k) |
測定可能 | |
測定時間 | 0.5~sec/point (膜種による) | |
測定スポットサイズ | 5X レンズ:50μm 10X レンズ:25μm 50X レンズ:5μm 100X レンズ:0.75μm (SEは0.6mm×1.5mm) |
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オプション | CIM、ローダーインターフェース、パターン認識、 スモールスポット、抵抗率測定、接触角測定など |
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ユーティリティ | 電源 単相 AC200V 50/60Hz 10A 真空 -55~-80KPa 圧空 0.55~0.60MPa |