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商品情報

光学式膜厚計Nanospec6500とは?

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FPD(フラットパネルディスプレイ)の生産ラインにおいて、ガラス基板上に塗布又は成膜された、薄膜の膜厚測定用として販売されているNanospec6500シリーズは、Nanometrics社が長年培ってきた高い光学技術やノウハウと、解析ソフトウェア、高精度なステージ駆動などの技術が凝縮されており、世界の主要FPDメーカー工場へ100台を超える納入実績があります。 そのNanospec6500シリーズの業務移管を受け、東朋テクノロジーが独自の技術でさらなる開発・付加価値を高め、 Nanospec6500シリーズの製造・販売・サービスを行っております。

信頼性高い測定ヘッド

高スループット、高精度、高信頼性の膜厚測定・膜質評価が可能
Nanospec6500の膜厚測定原理は、光の干渉方式を応用したものです。測定試料に白色光を垂直に当て、膜の上下の界面で反射した光の干渉光を、分光ヘッド部へ導き分光した光の強度を解析して膜厚値を算出します。
パターン化された微小エリアの測定を可能にするため、最小0.75μmのスモールスポット測定をご提案します。0.75μmスポットによる3層膜同時膜厚測定(n,k 値含む)が可能です。

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単層膜/多層膜測定

測定膜構造の一例です。測定したい膜種/膜厚をサンプル測定し、モデル/レシピを作成します。弊社の経験豊富なアプリケーションエンジニアが正確で最適なモデルを作成し、検証を行ったうえでお客様に提供します。

単層膜
Single Layer
多層膜
Multi Layer
SiOx/Glass,Metal SiOx/Poly-Si/SiOx/SiNx/Grass,Metal
SiNx/Glass,Metal Poly-Si/SiOx/SiNx/Grass,Metal *
a-Si,n+a-Si/Grass a-Si/SiOx/SiNx/SiOx/Grass,Metal *
ITO/Glass,Metal Resist/ITO/Grass
PI/Glass,Metal ITO/SiO2/Grass
Resist/Glass,Metal PI/SiO2
Ta2O5/Grass SiOx/SiNx/Grass
AI2O3/AI Ta2O5/SiNx/Grass

Tohoカスタマイズ

設計から製造までの工程を、すべて自社で一貫して行っています。また、電気設計やCIM通信設計も同様に自社で行っており、ニーズに合わせたカスタマイズが可能です。また、専任のアプリケーションエンジニアにより、高度なレシピサポートを提供します。

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用途・アプリ

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1Nanospecソフトウェア

扱いやすいユーザーインターフェースで誰でも簡単に、操作ができます。各種レシピ設定、測定パラメータ設定、データ管理、オプション機能の追加により、シート抵抗測定、接触角測定、段差測定も同一のソフトウェアで操作が可能です。

Nanospecソフトウェアのイメージ画像

2膜厚分布表示

測定したデータから膜厚分布図を作成し、面内の状態を視覚的に捉えることが可能。各膜厚差は色分けで表示します。

膜厚分布表示のイメージ画像

33Dマップ

測定データから3Dマップを作成し、立体的に表示します。各膜厚差は色分けで表示します。

3Dマップのイメージ画像

製品ラインナップ・概要仕様

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Nanospec6500

モデル Nanospec6500シリーズ
基板サイズ G2-G10 ガラス基板
測定波長範囲 400nm-800nm
測定膜厚範囲 10nm-20μm
多層膜測定 3-5層まで測定可能
測定スポット 0.75,5,25,50μm

Nanospec6500のイメージ画像

FAQ よくあるお問い合わせ

測定方式は何でしょうか?

可視光(400‐800nm)を使用した光干渉式になります。

測定可能な膜厚はどれくらいでしょうか?

10nm-20umです。膜種や膜構造により変わりますので、弊社までご相談ください。

多層膜の測定は可能でしょうか?

可能です。多層膜で3~5層の測定が可能ですが、膜厚や膜質 により変化しますので弊社にお問合せ下さい。

自動測定は可能でしょうか?

自動測定やLoaderと連動した測定が可能で、測定したデータはCIMを介し上位に報告可能です。

測定対象は何でしょうか?

G2-G10のガラス基板が対象です。ウェハーを測定したい 場合はご相談ください。

測定スポットサイズはどれくらいでしょうか?

5um(50xレンズ)、25um(10xレンズ)、50um(5xレンズ)を自動で切り替え可能で、オプションで0.75umスポットまで可能です。

膜厚測定の他に測定できる機能はありますか?

反射率測定、透過率測定、接触角測定、シート抵抗測定及び 弊社の接触式段差計と併用することも可能です。

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カタログ

資料 ダウンロード
NanoSpec6500カタログ pdf

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