カセット洗浄装置

商品概要

  • アレイ工程、セル工程、カラーフィルター工程用ガラス基板搬送用カセットの洗浄装置

商品特徴

  • 櫛刃カセット、ワイヤーカセットの両方に対応
  • G10用ガラス基板搬送用カセットまで対応
  • コンベアー回転方式により省スペース化を実現
  • 高圧シャワーノズルをスイングし、優れた洗浄能力を発揮
  • 二次汚染を考慮した搬送機構及びカセット乾燥ユニット

商品外観、構成図

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