洗浄装置

商品概要

  • アレイ/CF工程:受入洗浄、ELA(エキシマレーザーアニール)前洗浄、(スパッタ・CVD)成膜前洗浄、塗布前洗浄、ドライエッチ前洗浄、出荷前洗浄
  • 液晶工程:PI前洗浄、ラビング後洗浄

商品特徴

  • ガラス基板サイズG10用 川幅2850mm×長さ3050mmまで対応
  • 高機能洗浄ツールにより優れた洗浄性能を実現
  • 二次汚染を考慮した搬送機構及びエアーナイフ
  • 高スループットに対応したシステム設計
  • 純水、エアー使用量の抑制によりランニングコストを削減

商品外観、構成

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