マスクスピン洗浄装置

商品概要

  • カラーフィルター工程:露光用マスクの洗浄
  • セル工程:光配向用マスクの洗浄
  • タッチパネル工程:露光用マスクの洗浄

商品特徴

  • マスクサイズ川幅1600mm×長さ1800mmまで対応
  • ロボット搬送タイプ、ガントリー搬送タイプの2種類を選択可能
  • 各種調合装置をオプション設定
  • マスクへのダメージを考慮した万全な安全対策
  • 高スループットに対応したシステム設計
  • 薬液、純水、エアー使用量の抑制によりランニングコストを削減

商品外観、構成

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