有機EL用ライン検査装置　
ステルスFP

商品概要

有機EL用ライン検査装置　ステルスFPは有機ELの薄膜ムラ、LTPSの評価、フォトリソ工程のトラブル等、様々な欠陥を解析する装置です。

商品特徴

  • 特に広範囲に広がる膜厚ムラ、薬液残渣や、結晶評価に効果的です。
  • 開発段階から量産のインライン検査まで広い範囲でお使いいただけます。
  • 試作段階の小型基板から、G8サイズ等の大型基板までの検査に対応いたします。
  • 用途に応じて、搬送ロボット、ホスト通信機能等のオプションを選択いただけます。

仕様

基板サイズ 小型基板～G8サイズ
光源 LEDアレイ
検出器 高感度ラインCCD
オプション CIM、ローダーインターフェース、パターン認識等
欠陥解析機能 有機EL膜等の膜厚ムラ
パターニングされたレジスト、基板の欠陥検出
LTPS結晶性評価など

解析画面

解析画像

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