FPD3次元計測装置 
FPMシリーズ

商品概要

FPD3次元計測装置FPMシリーズは、高精細化が進む携帯端末や、高精細大型ディスプレイ装置に使用されるフラットパネルディスプレイの表面形状を測定するために、ザイゴ社が持つ最先端の技術を駆使して開発されました。

その多彩な測定能力は、LCD(液晶ディスプレイ)やOLED(有機ELディスプレイ)で使用されるPS(フォトスペーサー)、CF(カラーフィルター)、TFT(薄膜トランジスタ)、COA(TFT上のカラーフィルター)、MEMS(Micro Electro-Mechanical Systems)等の表面形状の測定に最適です。

ザイゴ社の卓越した検査ヘッドを、弊社の定評ある自動装置に搭載し、安定かつ高性能な測定装置を提供します。

商品特徴

ザイゴ社が知的所有権を持つ白色干渉技術(SWLI)をベースに、ザイゴ社のメトロロジーヘッドを搭載し、さらに、フラットパネル検査用に特別な開発が行われています。高速且つ、高精度で表面構造を観察することができるため、液晶パネルのCF基板とTFT基板の両基板において、CF工程やODF(One Drop-Fill) 工程のプロセスパラメータ改善のために使用されています。

液晶基板は、CF基板とTFT基板の2枚のガラスで構成されますが、それらの間隔を保つためのスペーサや、MVA(Multi-domain Vertical Alignment)方式で使用されている特殊な構造物、CF基板のRGBの高さの評価等に用いられます。

商品外観、構成

FPD3次元計測装置外観FPD3次元計測装置

  1. 超精密、サブナノメータ精度計測のための、ザイゴ社が知的所有権を持つフーリエ領域解析(FDA:Fourier Domain Analysis)を使用した走査型白色干渉(SWLI:Scanning white-light interferometry) 技術。
  2. 最新のデジタルマシンビジョン技術を使用した、高速データ取得/解析。 結果としてセンサヘッドの数を減少させることができ、システムの稼動時間を改善することになります。
  3. ザイゴ社の特許技術である、透明膜の表面形状や厚みを測定する膜解析ソフトウェア(FilmSlice/TopSlice)により先進FPDデバイスに対応。

ザイゴ社(Zygo corporation)

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