段差測定(膜厚測定)
検査装置FP

商品概要

針圧0.5mgから設定可能な超低針圧触針測定ヘッド(マイクロヘッドⅡ)を搭載し、その安定した段差測定(膜厚測定)で、液晶基板用の触針式段差測定装置(膜厚測定装置)としては世界シェアNo.1の実績を持っています。

商品特徴

  • 液晶基板の大型化に合わせて開発された段差測定装置(膜厚測定装置)FPXタイプでは、段差測定(膜厚測定)に影響を及ぼす振動への対策を強化し、基板全面で安定したデータが得られるように、構造変更を行っております。現在このXタイプでは、基板サイズ最大3200mmまで対応しております。
  • これまでの段差測定装置(膜厚測定装置)FPシリーズの中で、最も小さいタイプ(FP-20)よりもさらに小型化したFP-10をリリースし、ELやTN/STNなどの小型基板の段差測定(膜厚測定)に対し、低コスト・省スペースで基板全面の(段差測定)が可能になりました。

商品外観、構成

段差測定   

オリジナルソフトウェア

グラフィカルなデザイン

グラフィカルなデザイン

一覧から簡単測定レシピ作成

様々な基盤の段差測定(薄膜測定) ・検査に対応(様々なサンプル基板の段差測定(膜厚測定)に対応した各種スタイラス(触針)、校正用スタンダードをご用意しています。)

仕様

段差測定装置FP 
Aタイプ
サンプル基盤サイズ:300mm-880mm
段差測定装置FP 
Xタイプ
サンプル基盤サイズ:920mm-3200mm
走査スピード 最大25mm/sec
サンプリング
レート
最大200points/sec
針圧 0.5mg-15mg
位置決め精度 ±2μm
測定再現性 10Å
除振装置 装着
オプション SECS-GEM インターフェイス・オフラインソフトウェア・パターン認識機能
色認識機能・その他
この商品についてのお問い合わせはこちら ファインメカ事業部 TEL 0587-24-1210 インターネットでのお問い合わせはこちらから