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薄膜ストレス測定装置の製造販売権を取得
薄膜ストレス測定装置の製造販売権を取得
2002.12.24
米国KLAテンコール社(カルフォルニア州)から半導体ウェーハの歪みを調べる薄膜ストレス測定装置「フレクサス」の製造・販売権を取得しました。
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