現像装置

商品概要

  • アレイ工程:(ポジ・ネガ)フォトレジストの現像
  • カラーフィルター工程:(ポジ・ネガ)RBGカラーレジスト/BM(ブラックマトリクス)/PS(フォトスペーサ)の現像

商品特徴

  • ガラス基板サイズG10用川幅2850mm×長さ3050mmまで対応
  • 現像均一性を考慮したプロセス設計
  • 各種調合装置をオプション設定
  • 優れた温度コントロール性能(設定温度±0.5℃)
  • 二次汚染を考慮した搬送機構及びエアーナイフ
  • 高スループットに対応したシステム設計
  • 薬液、純水、エアー使用量の抑制によりランニングコストを削減

商品外観、構成

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