エッチング装置

商品概要

  • アレイ工程:メタル(Al/Mo/Cu/Crなど)のウェットエッチングシリコン酸化膜(SiO2)・シリコン窒化膜(SiN)のウェットエッチング
  • アレイ/CF/タッチパネル工程:透明電極(ITO)のウェットエッチング

商品特徴

  • ガラス基板サイズG10用川幅2850mm×長さ3050mmまで対応
  • 各種エッチング液に対応可能
  • 安全性、液漏れ、ガス漏れを考慮
  • エッチング均一性を考慮したプロセス設計
  • 二次汚染を考慮した搬送機構及びエアーナイフ
  • 高スループットに対応したシステム設計
  • 薬液、純水、エアー使用量の抑制によりランニングコストを削減

商品外観、構成

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