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剥離装置
剥離装置
商品概要
アレイ工程:各種エッチング工程後レジストの剥離、セル工程:PI膜(配向膜)の剥離
商品特徴
ガラス基板サイズG10用川幅2850mm×長さ3050mmまで対応
各種剥離液に対応可能
安全性、液漏れを考慮
ドライエッチング後のレジスト剥離時間を考慮したプロセス設計
二次汚染を考慮した搬送機構及びエアーナイフ
高スループットに対応したシステム設計
薬液、純水、エアー使用量の抑制によりランニングコストを削減
商品外観、構成
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ファインメカ事業部
TEL 0587-24-1210
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