小型スクラブ洗浄装置

商品概要

各種ウェーハ(サファイア/SiCなど)の研磨・研削後洗浄

小型パネルの各種洗浄

商品特徴

  • パネルサイズ300mm×長300mmまで対応
  • ウェーハサイズ~Φ200mmまで対応可能
  • 用途に応じた洗浄ツールにより優れた洗浄性能を実現
  • 二次汚染を考慮した搬送機構及びエアーナイフ
  • 高スループットに対応したシステム設計
  • 純水、エアー使用量の抑制によりランニングコストを削減

商品外観、構成

この商品についてのお問い合わせはこちら ファインメカ事業部 TEL 0587-24-1210 インターネットでのお問い合わせはこちらから